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油擴散泵是用來獲得高真空或超高真空的重要設備。其主要特征尺寸為泵入口直徑，當入口直徑確定之后，其他連接尺寸和主要性能參數都有標準規定。擴散泵的入口直徑在65-1600mm之間，極限壓力最低可達10-8PA，抽氣速率可以從每秒幾十升到十幾萬升，最大出口壓力在30-70PA之間。它廣泛應用于真空冶金、真空熱處理、真突鍍膜、電子工業、航空航天、原子能等工業領域。
油擴散泵主要由擋油帽、泵體、泵芯、電加熱器和擋油器五大部分組成。通過這五部分結構形狀、尺寸的變化，可以衍生出許多不同的結構形式
油擴散泵按擋油帽可分為水冷和無水冷的兩種型式。根據泵體油擴散泵可分成直腔泵和凸腔泵，根據泵芯蒸汽噴嘴的級數，可分成二級泵、三級泵，四級泵和五級泵。
根據加熱器的安放位置.可分為內加熱擴散泵和外加熱擴散泵。當前市場上銷售的泵大多數是外加熱式，加熱器為普通電爐，熱損失比較大。從節能的角度考慮，今后應發展內加熱式泵，但應合理解決加熱器的電絕緣和通過泵壁的密封問題。
擴散泵上還有一些輔件，包括油溫繼電器，水溫電器，油標，灌油口、放油口，快速冷卻器等。快速冷卻器其實就是纏繞在泵體底部靠近電爐的冷卻水管，泵在正常工作時不通水，當泵停止加熱時，通入冷卻水，目的是使擴散泵油快速冷卻，以便停止前線機械泵的運行，達到省時、節電的目的。快速冷卻器通水，一直到泵底溫度接近50℃時，方可斷水。
油擴散泵使用的注意事項
調試好的新泵可直接接人真空系統工作。舊泵或長期放置的新泵，在接人真空系統前，應對泵中零件進行清潔處理，并換油。
①除去泵芯表面和泵壁上的雜質和各種油污。
②用丙酮、四氯化碳或干凈汽油擦洗各零體和泵內壁表面，玻璃油擴散泵用重鉻酸鉀洗液淸洗。保持周圍環境清潔，無灰塵，然后用熱風吹干。
③按順序將泵芯裝人泵體內，調整好各級噴嘴間隙，然后按規定數量加足泵油，可根據經驗測量油層深度，一般約1?2cm深即可。
④檢査加熱電爐的電爐絲是否燒斷、短路，電爐的絕緣性能、保溫性能是否良好。
⑤檢查水冷管（或水冷套）是否漏水、堵塞，要求水路暢通，水量充足。
⑥將泵接入真空系統，并對系統進行檢漏，要求系統漏氣率在允許范圍內。
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