在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質，而且還對機械摩擦點起潤滑，冷卻和密封作用。
真空泵油和一般機油有很大差別，所以使用真空泵油應該注意：要根據設備制造商用油規定，選用適當使用性能和粘度等級的真空泵油。為保證真空系統的正常工作，在使用及儲運過程中要防止污染物如機械雜質及水的進入，以免影響真空油的使用壽命和系統的正常工作。殘油往往含有大量的污染物和老化產物，嚴重地影響新油的使用質量和壽命，因此在換油時，油箱及油路要清洗干凈。將新油從泵的吸氣口倒入，并用手緩慢地轉動泵軸，清掃泵腔并將殘油排盡，須重復清洗劑幾次。
不同牌號品種的真空泵油的品質不同，如果混用，可能引起油品質量的變化，因此不同類型的真空泵油不能混用。
在用于溶劑、水蒸氣和有腐蝕性氣體時，使用后應勤檢查，當油品發生乳化或稀釋到影響泵的密封性能時，就應該換油。1號真空泵油是舊牌號，100號真空泵油是新牌號，在100前面應該有一個N，表示NEW。舊牌號的1號真空泵油的黏度，相當于現在的N68-N100真空泵油中間黏度值。
真空泵油和各類真空泵產品中是密不可分的，很多客戶的真空泵產品在使用過程中出現問題都是在真空泵油的使用方面理解不足產生的。所以選對用好真空泵油對真空泵的正常使用有著極其重要的作用。
1、極低的蒸汽壓這是真空泵油的最重要性能，由于真空泵要求真空度達到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求達到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸發性極低．一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
2、合適的粘度良好的粘溫特性真空系統利用泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。
3、良好的熱氧化安定性真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，因此使油的熱和氧化作用加劇。而擴散泵往往處于很高的環境溫度下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的熱氧化安定性。
4、較高的閃點要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。
5、良好的抗腐蝕性與抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內金屬零件與油發生化學變化。另外，吸入空氣中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。
一、真空泵油的作用：
1、潤滑：相對運動件間的潤滑，降低磨損。
2、密封：防止大氣進入排氣閥，有相對運動零件間的間隙密封（轉子與定子、旋片與轉子槽等）。
3、冷卻：油在泵內與油箱間循環，散熱、冷卻。
4、攜裹：將磨損產生的塵粒或其它顆粒挾裹在油中，減小磨損傷害。
5、保護：形成保護性油膜，避免水及化學蒸汽凝結物腐蝕泵內部件。
二、真空泵油的性能要求：
1、高溫下飽和蒸汽壓要低，易揮發成分要少。
2、最低的水含量和吸水性。
3、要有一定粘度，且隨溫度變化小（粘度溫升曲線平滑）。
4、潤滑性能好，機械應力下具有良好的抗裂解性。
5、抗腐蝕、抗氧化、化學性能穩定。
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