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真空系統的種類和工作狀態


真空系統的種類及工作狀態

真空系統廣泛用于各種不同的工藝過程,其種類十分繁多,按真空系統抽氣過程的狀態來分,有兩大基本類型,即開式真空系統和閉式真空系統。

開式真空系統系統中有氣體流動,各處壓力不等,系統中各截面之間有壓力差,最后一級按真空系統的工作壓強分,有粗真空系統、低真 空系統、髙真空系統、超髙真空系統、極離真空系統。

按真空系統的淸潔程度分:有油真空系統、無油真空系統。

按被抽系統的結構材料分:玻璃真空系統、金屬真空系統。

由于人們的習慣,在實際應用中也經常把上述不同的分類加以綜合,諸如“大型動態金屬高真空系 統”、“無油超髙真空系統”、“玻璃高真空系統”等。可見上述分類方法不是嚴格不變的,往往結合真空系統的特點給以恰如其分的稱呼,可能更適用些。

把真空系統加以分類的目的,在于找出同類真空系統的特殊性,用以指導各種真空系統的設計,制造,裝配和使用.



 

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