在真空工程中常用的不銹鋼首要有奧氏體型不銹鋼和馬氏體型不銹鋼兩種類型。奧氏體型不銹鋼中使用最多的商標首要有0Crl8Ni9(304)、lCrl8Ni9Ti等，它們屬于耐熱、耐蝕無磁不銹鋼，很多使用于真空室殼體、管路、閥體等；常用的馬氏體型不銹鋼首要有0Crl3、lCrl3、2Crl3、3Crl3等，首要用于具有較高耐性及受沖擊負荷的零件，如耐蝕真空泵葉片、軸類、噴嘴、閥座、閥片等需求必定硬度及耐腐蝕的場合。
真空度在1.3×10-4Pa以上的高真空和超高真空體系中，最佳選用奧氏體無磁不銹鋼[例如lCrl8Ni9Ti，0Crl8Ni9(304)等]制作真空容器的殼體、管道或其它零部件。這種不銹鋼具有優秀的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好，其導電率及導率較低，可以在-270oC～900oC范圍內作業。并具有高的強度、塑性及耐性。是目前金屬超高真空體系中所使用的首要構造資料。
奧氏體不銹鋼可以選用電弧焊、釬焊和氬弧焊的辦法進行焊接加工。表3給出最常用的奧氏體型不銹鋼(304型)的性質，304不銹鋼與lCrl8Ni9Ti不銹鋼的性質相近，其抗腐蝕功能非常好，蒸氣壓很低、導熱率低，并且是非磁性的。這些性質使得奧氏體不銹鋼變成超高真空室、工件架、支架、法蘭、螺栓螺母及超高真空泵(離子泵、低溫泵、吸附泵等)等最常用的資料。
不銹鋼就其磁性而言，分為有磁性的和無磁性的。通常富含鎳元素成份的都是無磁性的。應留意的是，不銹鋼并非肯定非磁性的，而是導磁率很小。并且，冷加工可以添加不銹鋼的導磁性。
當需求耐高溫、抗腐蝕或需求熱處理(淬火或調質等)時，如軸、閥蓋、封口等，則選用2Crl3、3Crl3、4Crl3等馬氏體不銹鋼為宜。但此類不銹鋼的防銹功能不如奧氏體不銹鋼好。
常用的無磁性不銹鋼的首要缺陷是抗晶界間腐蝕不穩定，尤其是在焊接時，受熱在450～750oC的當地，易在晶界上構成鉻的碳化物而降低資料應有的氣密性。實驗證實：含鉻18％～20％，含鎳10％以下，含碳低于0.2％的不銹鋼，經過1050～1150oC高溫處理，可消除上述晶界間不穩定的缺陷。
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